ミカサ株式会社｜Opticoat -非接触膜厚計、膜厚測定システム、厚み計等の小型ラボ機メーカー

Home

サイトマップ

お問合せ


	膜厚計

	段差計

	表面形状計測システム

	コンフォーカル顕微鏡

home >> 検査・測定装置 >> 非接触膜厚計

　弊社は半導体業界において、スピンコーター・マスクアライナー・光学顕微鏡・検査装置などを長年販売して参りました。その結果として、多くの実績と高い評価を頂いております。その経験も踏まえて、非接触膜厚計(膜厚測定システム・厚み計)をご案内致します。研究開発から品質保証用途まで、幅広い商品を取り揃えております。

ＯＰＴＭ series

　光干渉式膜厚測定装置は、膜の表面と基板との界面からの反射光の光路差によって生じる干渉光のデータを利用して膜厚を解析します。半導体業界・FPD業界・機能性フィルム業界・LED業界・レンズ、フィルター業界、DLC業界などの、ウエハ上の酸化膜・窒化膜、スピンコーターで塗布後のネガ型、ポジ型薄膜レジスト、MEMS用厚膜レジスト、カラーフィルタ、透明基板、レンズ用薄膜、及びドリル、エンドミルなど色々な業界での膜厚測定、極薄膜の測定、微小領域の膜厚測定、多層膜の測定、光学定数など、さまざまな膜厚管理のニーズに応えることが出来ます。また、非接触膜厚計はR&Dからインラインまで幅広く対応、膜厚に応じて波長範囲をご用意しております。

特徴
■非破壊・非接触で面内マッピング測定が可能
■短時間で測定（1秒以内/ポイント）
■フイルム等の柔らかい材料の測定可能
■顕微分光で高精度な絶対反射率測定　　（多層膜厚、光学定数）
■顕微下で広い測定波長範囲を実現する光学系　（紫外～近赤外）
■エリアセンサーによる安全機構
■初めての方でも操作が簡単　（光学定数解析が可能な楽々解析ウィザード）
■測定シーケンスをカスタマイズ可能なマクロ機能搭載
■3μmでの微小領域も測定可能（オプション）
■300mmステージ対応可能（オプション）
■各種カスタマイズに対応

ＯＰＴＭ　ｓｅｒｉｅｓ　材料解析ソフトウェア画面	ウエハ面内測定 (25ポイント)	ウエハの３Ｄ表示

仕様

■形式

波長範囲	自動ＸＹステージタイプ	固定フレームタイプ	組込ヘッドタイプ
230nm　～　800nm	OPTM-A1	OPTM-F1	OPTM-H1
360nm　～　1100nm	OPTM-A2	OPTM-F2	OPTM-H2
900nm　～　1600nm	OPTM-A3	OPTM-F3	OPTM-H3

仕様	ストローク	繰り返し精度　※1	駆動分解能
自動ＸＹステージタイプ	X:200mm、Y：225mm	2μm	1μm

■ヘッド選択仕様

◎波長範囲

波長範囲	膜厚測定範囲※2	検出器※3	光源
230nm　～　800nm	1nm　～　35µm	CCD	重水素+ハロゲン
360nm　～　1100nm	7nm　～　49µm	CCD	重水素+ハロゲン
900nm　～　1600nm	16nm　～　92µm	InGaAs	ハロゲン

◎対物レンズ

タイプ	倍率	測定スポット径	観察視野
反射対物型	10倍レンズ	φ20μｍ	φ800μｍ
	20倍レンズ	φ10μｍ	φ400μｍ
	40倍レンズ	φ5μｍ	φ200μｍ
可視屈折型　※4	5倍レンズ	φ40μｍ	φ1600μｍ

■共通仕様

◎本体および性能

サンプルサイズ※5	最大200×200×17mm
オートフォーカス	標準搭載
多層膜解析	最大50層
膜厚精度	1μm未満：NIST認定試料（SiO2/Si）の膜厚保証範囲内
	1μm以上：±0.2%　※6
繰り返し精度
膜厚測定	100nm未満：0.1nm　※7
Si基板上SiO2膜	100nm以上：0.07%　※8
反射率測定	230nm　～　1600nm：0.5%　※8

◎ソフトウェア

測定	マニュアル測定/連像測定/マッピング測定/マクロ測定/測定同時演算機能
解析	最小二乗法、最適化法、周期解析（FFT）、ピークバレイ法（PV）、基板解析
	裏面反射補正、各種光学定数（nk）解析モデル式、グラフ表示（等高線/3D）
	絶対反射率/解析結果フィッティング/光学定数(nk)の波長依存性
	複数点解析
システムメンテナンス	材料ファイル構築（データベース管理）、ハードウエアの各種設定

◎データ処理部

データ処理ユニット

ノートＰＣ

◎寸法、重量

	自動ＸＹステージタイプ	固定フレームタイプ	組込ヘッドタイプ
寸法	556(W)×566(D) ×618(H)mm	362(W)×468(D) ×491(H)mm	210(W)×441(D) ×474(H)mm
			90(W)×250(D) ×190(H)mm ※9
重量	66kg	38kg	23kg
			4kg　※9
消費電力	AC100V±10V　500VA	AC100V±10V　400VA

◎オプション

ハードウェア	微小φ3μmスポット径対応、海外向け200-240V対応、ウエハホルダー
	（4/6/8ｲﾝﾁ）、固定フレームオプションステージ（微調XY、チルト）、
	300ｍｍ自動XYステージ
ソフトウェア	パターンアライメント、ポスト解析、通信コマンド対応
	レンズ芯出し機能、反り検出機能
消耗品	ハロゲンランプ、重水素ランプ、Ａｌリファレンス

※上記以外のご要望（300mmウエハ対応、特殊形状サンプルホルダー、大型ステージ、ローダー搬送系対応、各種通信対応、クリーンルーム対応、等）に付いては別途お問い合わせください。

※1：移動量の繰り返し測定における拡張不確かさ（包含係数：2.1）

※2：数値はSiO2換算の膜厚値です。測定可能範囲は、測定膜種、測定条件及び分光器仕様など
　　　により異なります。

※3：CCD：電子冷却型CCDｴﾘｱｲﾒｰｼﾞｾﾝｻｰ512ch

　　：InGaAs：電子冷却型　InGaAsｴﾘｱｲﾒｰｼﾞｾﾝｻｰ512ch

※4：可視屈折型ﾚﾝｽﾞでの絶対反射率の対応波長は450～800nmです。

※5：これ以外のｻﾝﾌﾟﾙｻｲｽﾞにも対応可能です。別途、ご相談ください。

※6：分光器校正精度からの計算値です。膜厚精度は膜種により異なります。

※7：20倍反射対物ﾚﾝｽﾞ、230～800nm測定ｼｽﾃﾑを使用し、試料の同一ﾎﾟｲﾝﾄを再ﾌｫｰｶｽさせ繰り返し
　　　測定した時の拡張不確かさ（包含係数：2.1)

※8：20倍反射対物ﾚﾝｽﾞを使用し、試料の同一ﾎﾟﾝﾄを再フﾌｫｰｶｽさせ繰り返し測定した時の相対拡張
　　　不確かさ（包含係数：2.1)×100

※9：AC/DC電源ﾕﾆｯﾄ

ファイバー式膜厚モニタ

ファイバー式膜厚モニタは、小型反射プローブを採用し、実験室レベルから生産工程でのインライン全数検査まで、すべての場面で適用可能な光干渉法による反射分光式膜厚計です。保守性に優れ、プロセス装置内への組み込みやライン管理用途としても利用できます。最大９種類の透明膜の同時測定が可能です。
メンテナンス性に優れ、プロセス装置内への組み込みやライン管理用途としても利用できます。

特徴

■小型ファイバープローブ

高さ30mmの小型プローブを採用したことで、機器内の僅かな空間に取り付け可能です。対象面からプローブまでの距離は、１mmから80mm程度を推奨します。測定領域は約3mmφとなります。（オプションで1mmφのアタッチメントを用意）プローブの種類を変更することにより、サンプルとの距離を100mm以上離すことが可能です。

■膜厚測定再現性0.1nm以下（3σ）

■多層膜同時測定9層対応

■膜質解析機能
　　・有効媒質近似（EMA）法による混合層の混合率算出、
　　　結晶性判定
　　・光学定数解析

■目的によって選べる光源
　　白色LED、タングステンハロゲン、重水素・ハロゲン

■短時間で測定（1秒以内/1ポイント）

■膜厚終点（エンドポイント）/検出ソフト標準

■自動マッピング測定（オプション）/300mmウエハまで対応

光源タイプ	波長範囲（nm）	膜厚測定範囲	平均寿命（Hour）
白色LED	430～700	50nm～50µm	＞50,000
タングステンハロゲン	400～900	50nm～50µm	10,000
重水素・ハロゲン	220～900	10nm～30µm	1,000

サンプルサイズ	最大φ6ｲﾝﾁ
測定再現性	≦0.1nm			※30nm以上100nm未満のSi基板上のSiO2単層膜において、0.1nm（3σ）以下。 ※推奨設置環境条件を満足すること。
解析	カーブフィッティング法、FFT法、ピーク検出法
ビーム径	約φ3mm、φ1mm
測定距離	ビーム径　約φ3mmの場合/最大60mm　　ビーム径　約φ1mmの場合/最大20mm
電源	膜厚モニタ本体	最大2A	制御用PC	最大2A
重量		約4㎏		約3kg
寸法	約150（L）x160（W)x110（H)・・・重水素・ハロゲンランプ仕様時100nm以上：0.07%　※8
推奨環境条件	温　　　度：セットポイント 18 ～ 45℃の範囲内　　　　　　湿　　　度：45％±20％（結露無き事）　　　　　　　　　　　短期変化：±1.0℃/1時間×1周期（基準セットポイント）長期変化：±2.0℃/24時間以上（基準セットポイント）

	オプション　自動ステージ
	ウエハマッピング膜厚測定ユニットは、最大300mmウエハの全面自動マッピング膜厚測定が可能です。
	自動アライメント機能、事故較正機能、平坦度の高いウエハチャックの採用により、信頼性の高い膜厚測定が可能です。
	※ファイバー式膜厚モニタと組み合わせて使用

	自動ステージ仕様
	リニアステージ
	移動量：　300mm（分解能：4µm）
	回転ステージ
	回転範囲：　-2～400度（分解能：0.005°）
	寸法　　　：　約500（L）×160（W）×110（H)
	重量　　　：　約20㎏
	消費電力　：　100～240VAC、最大2A

測定精度など詳細は特設サイトへ

弊社では、最適な製品をご提案するする為、無料でサンプルの膜厚測定を実施しております。是非ご利用ください。

高精度段差計

ページトップに戻る