Home サイトマップ お問合せ 膜厚計 段差計 表面形状計測 システム コンフォーカル 顕微鏡 home >> 検査・測定装置 >> 段差計(プロファイラー) 　ミカサが長年手がけておりますホトリソ分野の検査工程で必要とされます、高精度段差計(プロファイラー・微細形状測定機)をご紹介致します。高精度段差計(プロファイラー・微細形状測定機)は、AFM（Atomic Force Microscope：原子間力顕微鏡）に近い低触圧まで対応する世界トップレベルの高精度を誇る段差計(プロファイラー)です。今後、段差計(プロファイラー)に求められるナノレベルの解析要望にお答え致します。 半導体・液晶の材料開発や製造プロセスでの膜厚測定では、薄膜、金属膜、黒色膜、厚膜の段差測定が求められています。また測定結果にはなにより精度が求められます。このようなニーズに於いて研究開発から生産まで幅広く対応出来ます。 ET200 　特徴 　■ 　コストパフォーマンスが高い二次元表面粗さ(表面性状)解析及び段差測定装置です。 　■ 　X軸の真直精度保証（0.2μm/100mm以下）により、形状・うねり測定の信頼性向上。 　■ 　軟質試料面に対応するため測定力コントロールを採用。 　■ 　直動式検出器を採用により てこ式検出器における円弧歪とガタを解消し高精度段差測定を実現。 外観 段差測定プロファイル ET200仕様 最大サンプルサイズ：　φ160ｍｍ　厚さ64�o 再現性 ：　1σ　1ｎｍ以内 測定範囲 ：　Z：600μｍ　X：100ｍｍ 分解能 ：　Z：0.1ｎｍ　X：0.1μｍ 測定力 ：　10μN〜500μN 検出器 ET4000A 　特徴 　■ 　ＦＰＤ基盤・ウエハー・ハードディスク等の3次元微細形状、段差、表面粗さ(表面性状)測定に最適。 　　　 （3次元微細形状測定は、ET4000AK） 　■ 　X軸の真直精度保証（0.1μm/100mm以下）により、形状・うねり測定の信頼性向上。 　■ 　軟質試料面に対応するため測定力コントロールを採用。 　■ 　直動式検出器を採用により てこ式検出器における円弧歪とガタを解消し高精度段差測定を実現。 　■ 　オートレベリング機能によりサンプルの平行出しが自動で簡単にできます。 外観　 3次元微細形状測定（ET4000AK仕様） ET4000A仕様 最大サンプルサイズ：　210×210ｍｍ 再現性 ：　1σ　0.5ｎｍ以内 測定範囲 ：　Z：100μｍ　X：100ｍｍ 分解能 ：　Z：0.1ｎｍ　X：0.01μｍ 測定力 ：　0.5μN〜500μN 観察画像 　「ご意見、その他お問合せ」のフォームにて、『段差計カタログ希望』とご記入しご請求下さい 　 非接触膜厚計           ページトップに戻る © MIKASA CO., LTD 2005