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NEXIV VMZ-R 各ヘッドタイプの倍率と視野
| 光学倍率 |
総合倍率* |
ステージ上視野
横×縦(mm) |
広視野ズームヘッド |
標準倍率ズームヘッド |
高倍率ズームヘッド |
| タイプA |
タイプ１ |
タイプ２ |
タイプ３ |
タイプ４ |
タイプTZ |
| 0.35× |
12.6× |
13.3×10 |
○ |
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| 0.5× |
18× |
9.33×7 |
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○ |
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| 0.6× |
21.6× |
7.8×5.8 |
○ |
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| 1× |
36× |
4.7×3.5 |
○ |
○ |
○ |
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○ |
| 1.8× |
64.8× |
2.6×1.9 |
○ |
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| 2× |
72× |
2.33×1.75 |
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○ |
○ |
○ |
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○ |
| 3.5× |
126× |
1.33×1 |
○ |
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| 4× |
144× |
1.165×0.875 |
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○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
| 7.5× |
270× |
0.622×0.467 |
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○ |
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○ |
| 8× |
288× |
0.582×0.437 |
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○ |
○ |
○ |
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| 15× |
540× |
0.311×0.233 |
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○ |
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| 16× |
576× |
0.291×0.218 |
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○ |
○ |
○ |
| 30× |
1080× |
0.155×0.117 |
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○ |
○ |
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| 32× |
1152× |
0.146×0.109 |
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○ |
| 60× |
2160× |
0.07×0.068 |
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○ |
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| 64× |
2304× |
0.073×0.055 |
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○ |
| 120× |
4320× |
0.039×0.029 |
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○ |
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| * 総合倍率は、24型TFTモニタをUXGA（1920×1200画素）モードで設定したときのモニタ上での倍率です。 |
・新開発TTLレーザオートフォーカスにより厚さ0.1mmの透明体も検出
TTLレーザオートフォーカスの新開発により、検出性能が大幅に向上。従来の高速／高精度測定に
加え、LCD保護膜等を代表とする微小な透明体の厚み検出も可能になりました。
※タイプAヘッドを除きます |
| ・3種類の入射角度に対応した8分割LED照明 |
タイプ1〜3は、垂直照明はもちろん、3つの入射角度による照明観察／測定が可能。微妙なエッジ
の検出をさまざまなサンプルで容易に行えます。全ての照明系に高輝度白色LED光源（長寿命タ
イプ）を採用しているので、ちらつきの少ない安定した画像が得られ、ランプ交換の手間も省けま
す。
※タイプ4の8分割リング照明入射角は50°、タイプAの8分割リング照明入射角は18°です。 |
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| ・15xハイスピードズーム |
5段階の高速ズームにより、15倍の高ズーム比での観察が可能。低倍での広視野サーチから高倍で
の精密画像までを表示できます。（タイプ1〜4） |
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| モデル |
VMZ-R 3020 |
VMZ-R 4540 |
VMZ-R 6555 |
| ストローク（X,Y,Z） |
標準モデル
（タイプ1〜4） |
300×200×200mm |
450×400×200mm |
650×550×200mm |
タイプTZ
（高倍対物使用時） |
300×200×200mm |
450×400×200mm |
650×550×200mm |
タイプTZ
（低倍対物使用時） |
250×200×200mm |
400×400×200mm |
600×550×200mm |
| タイプAモデル |
300×200×200mm |
450×400×200mm |
650×550×200mm |
| 最小表示単位 |
0.01μm |
| 被検物最大質量 |
20kg |
40kg |
50kg |
| 測定精度 |
EUX, MPE EUY, MPE |
1.2+4L／1000μm |
| EUXY, MPE |
2+4L／1000μm |
| Z軸測定精度（レーザAF使用時） |
1.2+5L／1000μm |
| カメラ |
白黒1/3型CCD（プログレッシブスキャン）、カラー1/3型CCD（プログレッシブスキャン／オプション）※
※カラーCCDカメラはタイプ1／タイプ2／タイプAカメラヘッドのみ対応 |
| 作動距離 |
標準モデル
（タイプ1〜3） |
50mm |
標準モデル
（タイプ4） |
30mm |
| タイプTZ |
高倍対物使用時：11mm／低倍対物使用時：32mm |
| タイプAモデル |
73.5mm（レーザAF部63mm） |
| 倍率／視野 |
標準モデル
（タイプ1） |
0.5〜7.5× ／ 9.33×7〜0.622×0.467mm |
標準モデル
（タイプ2） |
1〜15× ／ 4.67×3.5〜0.311×0.233mm |
標準モデル
（タイプ3） |
2〜30× ／ 2.33×1.75〜0.155×0.117mm |
標準モデル
（タイプ4） |
4〜60× ／ 1.165×0.875〜0.07×0.068mm |
| タイプTZ |
1〜120× ／ 4.67×3.5〜0.039×0.029mm |
| タイプAモデル |
0.35〜3.5× ／ 13.3×10〜1.33×1mm |
| オートフォーカス |
レーザAF（タイプAはオプション）／イメージAF |
| 照明 |
標準モデル
（タイプ1〜4） |
垂直落射、透過、8分割リング照明（※全系統白色LED光源／タイプ1, 2, 3は3角度、タイプ4は1角度） |
| タイプTZ |
垂直落射、透過（高倍ヘッドのみ）、暗視野照明 |
| タイプAモデル |
垂直落射、透過、8分割リング照明（※全系統白色LED光源／1角度） |
| 供給電源 |
AC100V±10％、50／60Hz |
| 消費電流 |
5A-2.5A |
| 寸法（W×D×H）／質量 |
本体+測定台 |
700×730×1795mm
／約245kg |
1000×1340×1820mm
／約500kg |
1200×1640×1820mm
／約665k |
| コントローラ |
190×450×440mm／15kg |
| 設置寸法（W×D） |
2100×1100mm |
2300×1700mm |
2400×2000mm |
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| 簡単操作の測定ソフトウエア |
| ・自由にカスタマイズできるパネル式GUI |
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測定作業の習熟度や機能の使用頻度に応じて作業パネルの表示と位置を自由に変更可能。作業効率の向上に役立ちます。 |
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測定サポート機能 |
・カスタマーズエッジセレクト/異常値除去
・インテリジェントサーチ
・調光サポート |
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ティーチング機能 |
・CADインターフェース支援機能
・DXFファイル作成機能
・オフラインティーチング機能
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形状評価形状評価プログラム NEXIV Profiler |
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・JIS・ISO規格に準拠した結果評価機能を採用 |
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| 真円度評価 |
平面度評価 |
真直度評価 |
| 最小二乗法／最小領域法／最大内接円／最小外接円 |
最小二乗法／最小領域法／最大3点指示／最小3点指示 |
最小二乗法／最小領域法／2端点指示 |
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| ・形状評価機能 |
| 形状測定の結果と設計値の誤差を評価。結果を表や図で分かりやすく 表示/出力します。 |
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| 形状誤差の計算：軸方向、法線方向の誤差を算出します。 |
| 形状データの作表／作図 |
| 設計値データの作成：キー入力のほか、CADデータからの作成、測定データの交換による作成も可能です。 |
| 測定値データの加工・出力：定ピッチ化等の加工後、CSV／NCファイルを出力します。PDF形式による測定結果リポートの書き出しも可能です。 |
| ・CADデータ読込/編集機能 |
取り込んだCADファイルの公差値変更、要素方向の切り替え、サイズの変更等を行うことができます。
実寸と異なるサイズの図面の寸法を修正したり、ティーチング方向を揃えて測定をスムーズに行う際に役立ちます。 |
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| ・その他の測定/評価機能 |
| 自由曲線形状の自動測定、誤差表示：幾何寸法測定では評価できない二次元輪郭形状も測定・評価可能。より定量化した評価を行えます。 |
| 形状測定機能：あらかじめ指定した開始点・終了点・測定ピッチなどをもとに輪郭形状に沿って自動的に測定し、結果を保存します。CADデータをもとにした輪郭形状の自動測定も可能です。 |
| 形状ベストフィット機能：回転／平行の2種類の軸に対して、測定結果と設計値の誤差が細小になるように位置調整を行います。基準座標が異なる場合でも容易に誤差評価が行えます。 |
| 設計値作成機能：DXF・GBR形式のCADデータを、形状評価の設計値データとして使用可能です。 |
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| ・測定リポート作成プログラム NEXIV Report |
| NEXIVの測定結果から任意のグラフィックや測定データを出力し、検査成績書を作成するプログラムです。表示内容やレイアウトを全て変更可能なため、自由度の高い成績書の作成を行うことができます。 |
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| ・オプション |
| 画像合成解析ソフト EDF/Stitching Express |
| 表面形状評価ソフト MountainsMap |
| 表面形状分析ソフト D-SURF |
| 簡易成績書ソフト Table Master |
| 検査成績表作成システム Custom Fit/Custom Fit QC |
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