Home サイトマップ お問合せ Nikon   工業顕微鏡 実体顕微鏡 測定機 顕微鏡用デジタルカメラ NEXIV ShuttlePix ZEISS   TEMP12 レーザー干渉計ZLM500/700/800 HEIDENHAIN   リニアエンコーダー（オープンタイプ） リニアエンコーダー（シールドタイプ） 高精度エンコーダ 長さゲージ ロータリーエンコーダ カウンタ 校正 FAQ その他 home >> M-synergy >> Nikon >> NEXIV >> iNEXIV VMAシリーズ 高解像度光学系の採用による高い測定性能と、広視野表示をはじめとした使いやすさを同時に実現。 画像測定用のVMA-4540Vとタッチプローブ測定も可能なVMA-4540。 ■450mm(X)×400mm(Y)×200mm(Z)の大きな測定ストローク XYストロークはワイドな450mm×400mm。大型PCBや大型パネル、長さのある部材の測定や多数の被検物を並べての連続測定にも対応します。Z軸ストロークも200mmと大きく、高さのある樹脂射出成型品の測定も可能です。 ■使いやすい広視野表示、シャープでクリアな画像 最大で13mm×10mm（0.35×倍率時）の広視野を確保。被検物とステージの平行出しや測定位置のサーチがストレスなく容易に行えます。5段階/10倍の高精度ズーム光学系により、細部の測定も高精度に行えます。 また、iNEXIV専用に設計された高解像力（NA0.11）のアポクロマート対物レンズにより、倍率誤差や色にじみを抑えたシャープでクリアな画像が得られます。 倍率および視野（mm） 光学倍率 0.35× 0.6× 1× 1.8× 3.5× 総合倍率 12.6× 21.6× 36× 64.8× 126× 視野（mm） 13.3×10 7.8×5.8 4.7×3.5 2.6×1.9 1.33×1 総合倍率は、24型TFTモニタをWUXGA（1920×1200画素）モードで設定したときのモニタ上での倍率です。 ■高速・高精度な画像AF 高速で高い繰り返し精度を誇る画像AFにより、被検物表面や輪郭エッジのピント合わせのほか、被検物上への基準面設定や高さ測定・深さ測定が行えます。 ■長作動距離対物レンズ 73.5mmの長い作動距離を確保。大きな・・・・・・・・・・・・・・・・発揮します。 ■さらに高速・高精度なピント合わせ／高さ測定が行えるレーザAFを選択できます。（オプション） *レーザーAF使用時の対物レンズ作動距離は63mmです。 ■エッジを際立たせる3種のLED照明 同軸落射照明、透過照明、8分割リング照明（入射角18°）は、光源に長寿命、低消費電力の高輝度白色LEDを採用。被検物の形状に応じた照明の選択や、光量・照射方向の調整により、見えにくい微妙なエッジもシャープに捉えることが可能です。 ■2D CAD設計形状重ね合わせ機能 同軸落射照明、透過照明、8分割リング照明（入射角18°）は、光源に長寿命、低消費電力の高輝度白色LEDを採用。被検物の形状に応じた照明の選択や、光量・照射方向の調整により、見えにくい微妙なエッジもシャープに捉えることが可能です。 ■インテリジェントサーチ機能 被検物の部分形状を画像として登録し、それを元に測定ターゲットを捜索することができます。登録した形状がティーチング時の場所からずれている場合や、被検物の形状が一定しない場合でも、検出エラーがなく確実に自動測定できます。     ■VMA-4540にはタッチプローブが搭載可能（オプション） VMA-4540*にはRenishaw®社のタッチトリガープローブTP20またはTP200がオプションで搭載可能です。上方からは見ることのできないオイルシールの内径や、超硬切削チップ（インサート）の逃げ角など、画像測定では不可能な複雑な立体形状の測定に威力を発揮します。タッチプローブと画像測定はソフト上では同軸として扱われるため、切り替えながら容易に測定可能です。 *VMA-4540Vは画像測定専用機です。     *VMA-4540Vは画像測定専用機です。 ■仕様 ストローク（X×Y×Z） 450×400×200mm 最小表示単位 0.1μm 被検物最大質量 40kg （精度保証20 kg以下） 最大許容指示誤差 *3 *3　20℃ ± 0.5kでのニコン社内検査規格による。　 EUX,MPE EUY,MPE: 2＋6L/1000μm（画像AF時） EUXY,MPE: 3＋6L/1000μm（画像AF時） EUZ,MPE: 3＋L/100μm （レーザーAFまたはタッチプローブ使用時） カメラ　 カラーまたは白黒1/3型3CCD プログレッシブスキャン 作動距離 73.5mm（レーザーAF使用時は63mm） 倍率　 光学倍率：0.35×〜3.5× 画面内倍率：12.6×〜126× *WUXGA（1920×1200画素）24インチモニター使用時 画面内サイズ 13.3mm×10mmから1.33mm×1mm オートフォーカス　 画像AF レーザーAF（オプション） 照明 輪郭照明 白色LED透過照明 表面照明 白色LED垂直落射照明 斜光照明 8分割白色LEDリング照明 ビデオ解像度 640×480画素 タッチトリガープローブ（オプション） *1 レニショーTP200/TP20 TP（タッチプローブ）*1装着時の測定範囲 *1VMA-4540に搭載可能です。VMA-4540Vには搭載できません。　 400×400×166mm（TP20） 400×400×170mm（TP200） 450×400×200mm（画像測定） TP＋MCR20 *2装着時の測定範囲 *2 iNEXIV用のMCR20はTP20とTP200の両方に使用可能です。　 325×400×166mm（TP20） 325×400×170mm（TP200） 375×400×200mm（画像測定） 供給電源 100V - 240V, 50/60 Hz 消費電流 5A - 2.5A（ホストコンピューターとその周辺機器を除く） 寸法（W×D×H）、質量 本体＋測定台 1000×1340×1553mm、500kg コントローラー 145×400×390mm、13kg 動作環境 温度 10℃から35℃ 湿度 70%以下 ホストコンピューター CPU Intel® Core™2 Duo CPU以上 メモリー 4GB以上 OS Windows®7 32 bit インターフェース USB2.0 / IEEE1394 立体形状サンプルの測定を目的に開発されたiNEXIV VMA-2520は、従来のNEXIV VMRシリーズの使いやすさと画像処理能力を継承しながら、小型・軽量・省スペースを実現しました。しかも、XYストローク250mm×200mmに加え、200mmものZ軸ストロークと73.5mmのワーキングディスタンスを実現。機械部品、成型品、医療部品等、高さや段差のある部品の測定が余裕を持って行えます。また、10倍ズーム光学系を標準搭載。さらに、すべての照明系に高輝度白色LED光源を採用したことにより、カラー観察時の測定精度が安定し、スループットが大幅に向上します。 ■小型、省スペースで、重さはわずか72kg VMA-2520は設置寸法2000×1000mmの省スペース（測定台、タワーPCおよびラックを含む）。しかも、200mmものZ軸ストロークを有しながら最小高さを750mmに抑えたコンパクト設計。さらに、ベース、ステージ、コラムをはじめ、構造材はすべてアルミ合金化したことにより、本体が72kgという軽量化を実現しています。 ■200mmと大きい、測定対象高さ 測定ヘッドが上下するユニークな構造を採用した VMA-2520のZ軸ストロークは、なんと200mm。XY軸ストロークも250×200mmと広いので、機械部品、成型品、医療部品等、立体形状のサンプルの測定に威力を発揮します。 ■すべての照明系に高輝度白色LED光源を採用 VMA-2520は、垂直落射、透過、8分割LEDリング照明のすべての照明系に白色LED光源を採用しました。高輝度白色LED照明は色温度が一定でちらつきが少ないため、特にカラー観察時の測定精度が安定します。また、調光反応が速く、スループット向上が可能です。さらに、低消費電力、長寿命（約20,000時間使用可能）なので電球交換の手間が省けるのも魅力です。 ■広視野の10倍ズームを搭載 十分な精度を得るための高倍率と、ティーチングやサーチのための低倍率・広視野という、どちらのニーズにも対応する 5段階／10倍ズーム光学系を標準搭載しました。測定用途専用に開発したバックラッシュの少ないズーム機構で、変倍にともなう倍率、像移動の精度劣化をきわめて低レベルに抑えています。 倍率および視野（mm） 光学倍率 0.35× 0.6× 1× 1.8× 3.5× 総合倍率 14× 24× 40× 73× 141× 視野（mm） 13.3×10 7.8×5.8 4.7×3.5 2.6×1.9 1.33×1 総合倍率は、19型TFTモニタをSXGA（1280×1024画素）モードで設定したときのモニタ上での倍率です。 ■標準装備の高速画像AF 測定物の表面およびエッジにかけることができる画像 AF（オートフォーカス）は、最適アルゴリズムとプログレッシブスキャンタイプのカメラの採用により、高速・高精度を実現しています。 ■さらに高速・高精度なピント合わせ／高さ測定が行えるレーザAFを選択できます。（オプション） ■仕様 ストローク（X×Y×Z） 250×200×200mm 最小表示単位 0.1µm 被検物最大質量 15kg 最大許容指示誤差 （XY） MPEE1：2＋8L/1000µm（被検物質量5kg以下） MPEE2：3＋8L/1000µm （Z） MPEE1：3＋L/50µm カメラ カラー1/3型3CCD（プログレッシブスキャン）／白黒（オプション） 作動距離 73.5mm／レーザAF使用時は63mm（オプション） 倍率／視野 0.35〜3.5×／13.3×10〜1.33×1mm オートフォーカス 画像AF／レーザAF（オプション） 照明 透過、垂直落射、8分割LEDリング照明 供給電源 100V-240V〜、50/60Hz 消費電流 5A-2.5A（ホストコンピュータ等、周辺装置の消費電流は含まず） 寸法（W×D×H）／質量 本体 565×690×740mm（最小高さ時）／72kg 本体＋測定台＋コントローラ 650×700×1360mm／123kg コントローラ 145×400×390mm／13kg 設置寸法（W×D） 2000×1000mm（測定台、タワー型PCおよびラックを含む） ホストコンピュータ 本体／OS IBM PC/AT互換機／Windows®XP Pro SP2以上         ページトップに戻る © MIKASA CO., LTD 2005