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自動化による検査の標準化、多彩なシステム拡張性を、世界トップレベルの性能とともに実現。
■上下動部、開口絞り、明暗視野切り換え、調光などを自動化
■自動化による検査の標準化により、誤差を減少
■最新の光学系CFI60システムを搭載
■フレア対策を徹底し、高コントラストを実現
■対物レンズ同焦点距離60mmの新規格で、高N.A.と長作動距離を実現
■コンタミネーション対策を強化
＜微分干渉／AFセット＞
■レボルバ内のノマルスキープリズムで、全ての対物レンズに対応するシングルDIC方式を採用。色ムラの少ない微分干渉像を実現。
■プリズム操作の電動化にも対応。
(写真のデジタルカメラは別売です。）
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