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LSI検査自動化顕微鏡 エクリプスL200A
>> エクリプスL200A明暗視野セット
自動化による検査の標準化、多彩なシステム拡張性を、世界トップレベルの性能とともに実現。
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上下動部、開口絞り、明暗視野切り換え、調光などを自動化
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自動化による検査の標準化により、誤差を減少
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最新の光学系CFI60システムを搭載
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フレア対策を徹底し、高コントラストを実現
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対物レンズ同焦点距離60mmの新規格で、高N.A.と長作動距離を実現
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コンタミネーション対策を強化
<明暗視野セット>
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明視野/暗視野両用型セット
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