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正立顕微鏡 M-synergy
home >> M-synergy >> Nikon >> 工業顕微鏡 >> 正立顕微鏡 >> LSI検査自動化顕微鏡 エクリプスL200A
エクリプスL200A明視野セット
自動化による検査の標準化、多彩なシステム拡張性を、世界トップレベルの性能とともに実現。

上下動部、開口絞り、明暗視野切り換え、調光などを自動化
自動化による検査の標準化により、誤差を減少
最新の光学系CFI60システムを搭載
フレア対策を徹底し、高コントラストを実現
対物レンズ同焦点距離60mmの新規格で、高N.A.と長作動距離を実現
コンタミネーション対策を強化

<明視野セット>
明視野専用セット
エクリプスL200A明暗視野セット
自動化による検査の標準化、多彩なシステム拡張性を、世界トップレベルの性能とともに実現。

上下動部、開口絞り、明暗視野切り換え、調光などを自動化
自動化による検査の標準化により、誤差を減少
最新の光学系CFI60システムを搭載
フレア対策を徹底し、高コントラストを実現
対物レンズ同焦点距離60mmの新規格で、高N.A.と長作動距離を実現
コンタミネーション対策を強化

<明暗視野セット>
明視野/暗視野両用型セット
エクリプスL200A微分干渉セット
自動化による検査の標準化、多彩なシステム拡張性を、世界トップレベルの性能とともに実現。

上下動部、開口絞り、明暗視野切り換え、調光などを自動化
自動化による検査の標準化により、誤差を減少
最新の光学系CFI60システムを搭載
フレア対策を徹底し、高コントラストを実現
対物レンズ同焦点距離60mmの新規格で、高N.A.と長作動距離を実現
コンタミネーション対策を強化

<微分干渉セット>
レボルバ内のノマルスキープリズムで、全ての対物レンズに対応するシングルDIC方式を採用
エクリプスL200A微分干渉/AFセット
自動化による検査の標準化、多彩なシステム拡張性を、世界トップレベルの性能とともに実現。

上下動部、開口絞り、明暗視野切り換え、調光などを自動化
自動化による検査の標準化により、誤差を減少
最新の光学系CFI60システムを搭載
フレア対策を徹底し、高コントラストを実現
対物レンズ同焦点距離60mmの新規格で、高N.A.と長作動距離を実現
コンタミネーション対策を強化

<微分干渉/AFセット>
レボルバ内のノマルスキープリズムで、全ての対物レンズに対応するシングルDIC方式を採用。色ムラの少ない微分干渉像を実現。
プリズム操作の電動化にも対応。(写真のデジタルカメラは別売です。)
     
 
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